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本發明提供一種用于側面開蓋的激光系統裝調的氣簾及環境隔離裝置,其中環境隔離裝置包括氣簾裝置,所述氣簾裝置包括剛性管和供氣裝置,所述剛性管的兩端具有氣體入口和氣體出口,所述供氣裝置與所述剛性管的氣體入口連接,所述剛性管的下側壁具有多個均勻排列...該專利屬于北京國科世紀激光技術有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過北京國科世紀激光技術有限公司授權不得商用。
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