溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

193nm?P光大角度減反射薄膜元件的制備方法，涉及ArF準分子激光應用技術領域，解決了P偏振態193nm激光光束大角度入射擴束棱鏡組時，由于剩余反射導致該模塊光學損耗過大的問題。本發明在采用真空熱沉積方法在基底上交替沉積LaF3薄膜層和M...
該專利屬于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院長春光學精密機械與物理研究所授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。