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一種雙頻光柵干涉儀位移測量系統(tǒng)，包括雙頻激光器、干涉儀、測量光柵、電子信號處理部件，該測量系統(tǒng)基于光柵衍射、光學多普勒效應和光學拍頻原理實現(xiàn)位移測量。雙頻激光器出射雙頻激光經(jīng)偏振分光鏡分為參考光和測量光，測量光入射至測量光柵處產(chǎn)生正負一級衍...該專利屬于清華大學所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過清華大學授權(quán)不得商用。