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    下載開關管的制作方法及開關管的蝕刻設備的技術資料

    文檔序號:8348328

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    本發明公開了一種開關管的制作方法,包括在玻璃基板上依次形成開關管的控制電極、絕緣層、有源層以及源漏金屬層,對源漏金屬層進行圖案化處理后暴露有源層,之后對暴露的有源層以逐步降低蝕刻速度的方式進行蝕刻以形成開關管的溝道。本發明還公開一種開關管的...
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