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一種制備超飽和硫系元素摻雜硅的方法，包括如下步驟：步驟1：選擇一襯底；步驟2：對襯底表面進行制絨；步驟3：對制絨后的襯底進行超飽和硫系元素離子注入；步驟4：對硫系元素離子注入后的襯底進行激光退火，消除離子注入產生的晶格缺陷，完成制備。本發明...
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