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現有的環境監測裝置基于485/232或基于現場總線，傳輸速率低，抗干擾性差，外圍電路復雜，通道掃描速度低，可靠性差，開發周期長，本實用新型提供了環境因素采集系統和半導體集成電路生產工藝測量設備，該采集系統包括：多個傳感器網絡單元，分別傳感與...該專利屬于睿勵科學儀器（上海）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過睿勵科學儀器（上海）有限公司授權不得商用。
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