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一種能夠以高精度測(cè)量吸收體的位置和尺寸的測(cè)量裝置，該測(cè)量裝置包括：用于發(fā)射脈沖光束的光源單元；用于將由光源單元發(fā)射的脈沖光束引導(dǎo)到檢查對(duì)象的內(nèi)部的照明光學(xué)單元；和用于檢測(cè)由脈沖光束產(chǎn)生的光聲信號(hào)的聲學(xué)信號(hào)檢測(cè)單元，其中，照明光學(xué)單元包含被相...該專利屬于佳能株式會(huì)社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過佳能株式會(huì)社授權(quán)不得商用。