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一種外差光柵干涉儀位移測量系統，包括讀數頭、測量光柵、電子信號處理部件，該測量系統基于光柵衍射、光學多普勒效應和光學拍頻原理實現位移測量。讀數頭包括雙頻激發生器、干涉儀、信號轉換單元，雙頻激光發生器出射雙頻激光經偏振分光鏡分為參考光和測量光...
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