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一種分束光柵子光束陣列位相和光強的測量方法,其特點在于激光器發出的入射激光經第一分束鏡分成兩路:一路透射光經第一準直擴束器進行準直擴束成平面波后,垂直照射位于傅里葉透鏡前焦面的分束光柵,經第一反射鏡反射后,再經第二分光鏡反射,最后進入CCD...該專利屬于中國科學院上海光學精密機械研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國科學院上海光學精密機械研究所授權不得商用。
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一種分束光柵子光束陣列位相和光強的測量方法,其特點在于激光器發出的入射激光經第一分束鏡分成兩路:一路透射光經第一準直擴束器進行準直擴束成平面波后,垂直照射位于傅里葉透鏡前焦面的分束光柵,經第一反射鏡反射后,再經第二分光鏡反射,最后進入CCD...