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    下載抗熱變形的電容薄膜式壓力傳感器的技術資料

    文檔序號:8365890

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    本發明屬于機械設計和真空計量技術領域,具體涉及一種電容薄膜壓力傳感器。一種抗熱變形的電容薄膜式壓力傳感器,它包括:機架(1)、底架(2)、薄膜(3)、陶瓷焊料、電極板(5)與電極板導線(6);薄膜(3)將機架(1)與底架(2)分隔成兩個腔室...
    該專利屬于中國航天科技集團公司第五研究院第五一〇研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國航天科技集團公司第五研究院第五一〇研究所授權不得商用。

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