溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明提供一種探針保護系統，該系統包括氮氣產生裝置、氮氣輸送管道及測試機臺陣列，所述氮氣產生裝置用于產生氮氣；所述氮氣輸送管道分別與所述氮氣產生裝置及所述測試機臺陣列連接；所述測試機臺陣列由N個并聯的測試機臺組成，N為正整數，且N≥1；所述...該專利屬于成都市中州半導體科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過成都市中州半導體科技有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明提供一種探針保護系統，該系統包括氮氣產生裝置、氮氣輸送管道及測試機臺陣列，所述氮氣產生裝置用于產生氮氣；所述氮氣輸送管道分別與所述氮氣產生裝置及所述測試機臺陣列連接；所述測試機臺陣列由N個并聯的測試機臺組成，N為正整數，且N≥1；所述...