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本發明提出一種遮蔽裝置，包括：遮蔽盤；托盤，用于承載遮蔽盤，且托盤之中設置有至少一個傳感器，所述至少一個傳感器用于檢測遮蔽盤的狀態；和轉軸，所述轉軸與托盤相連以帶動托盤在空余位置和遮蔽位置之間移動。本發明還提出一種半導體處理設備。根據本發明...該專利屬于北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司授權不得商用。