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    下載一種主動矩陣有機(jī)發(fā)光二極體驅(qū)動背板及其制備方法的技術(shù)資料

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    一種主動矩陣有機(jī)發(fā)光二極體驅(qū)動背板及其制備方法,包括:在襯底上沉積并圖形化金屬導(dǎo)電層作為柵極金屬層;在柵極金屬層上沉積一絕緣薄膜作為柵極絕緣層;在柵極絕緣層上沉積并圖形化金屬氧化物薄膜作為有源層;在有源層上沉積另一絕緣薄膜作為刻蝕阻擋層;在...
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