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一種碳化硅基板研磨用組合物，是用于研磨碳化硅基板表面的碳化硅基板研磨用組合物，含有真比重為2.10~2.30的膠態二氧化硅粒子和水，游離的堿金屬離子的濃度為1ppm~150ppm。...
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