溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本實用新型提供了一種晶圓定位裝置，包括環狀底座、中空蓋子、標準晶圓、攝像機、計算機和攝像機支架，所述中空蓋子蓋在所述環狀底座上，所述環狀底座固定安裝在涂膠槽內，真空吸附式卡盤通過所述環狀底座的中空部分與涂膠槽內的旋轉電機相連，真空吸附式卡盤...該專利屬于武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司授權不得商用。