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一種表面輪廓偵測裝置，偵測一目標物的表面輪廓，目標物具有一目標物對稱軸，表面輪廓偵測裝置包括波前偵測單元、驅動單元以及旋轉單元。波前偵測單元具有影像傳感器且發射偵測光束。驅動單元具有多個平臺移動目標物或波前偵測單元。旋轉單元具有旋轉軸，且設...
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