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本發明提供一種新穎的、液晶顯示裝置等的制造工序中對玻璃基板面快速且高精度地進行調溫的調溫裝置。本發明是在對玻璃基板面依次進行成膜、曝光和蝕刻的流程工序中，對設于成膜工序和曝光工序之間的玻璃基板面進行調溫的調溫裝置，形成有調溫風循環容器，其具...
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