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本發明公開了一種硅微通道板的氧化方法，具體步驟如下：1）將硅微通道板切割成一定形狀；2）將硅微通道板置1號液和2號液中清洗；3）在平面型石英舟上放置兩塊平行的硅片或石英棒，將清洗好的硅微通道板架在硅片或石英棒上氧化，石英棒或硅片的方向與氣流...該專利屬于華東師范大學;上海歐普泰科技創業有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過華東師范大學;上海歐普泰科技創業有限公司授權不得商用。
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