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本發明公開一種用于平板顯示器的化學氣相沉積（chemical?vapor?deposition；CVD）裝置，所述裝置包括：基座，用于支撐基板；真空室，在所述真空室中對所述基板執行沉積工藝，且所述真空室包括形成于其底部中心區域上并使用于向上...
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