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本發(fā)明提供一種成膜裝置和成膜方法。該成膜裝置在旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)方向上將兩個等離子體產(chǎn)生部互相分開設(shè)置，并且在該等離子體產(chǎn)生部與晶圓之間分別配置法拉第屏蔽。而且，在各個法拉第屏蔽上設(shè)有沿與各個等離子體產(chǎn)生部中的天線正交方向上延伸的狹縫，對于在各個...該專利屬于東京毅力科創(chuàng)株式會社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過東京毅力科創(chuàng)株式會社授權(quán)不得商用。