溫馨提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明公開(kāi)了一種磁控源的掃描機(jī)構(gòu)、磁控源和磁控濺射設(shè)備。磁控源的掃描機(jī)構(gòu)包括：驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸上設(shè)有第一齒輪；曲柄，所述曲柄的第一端與所述驅(qū)動(dòng)軸相連以由所述驅(qū)動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)；第二齒輪，所述第二齒輪與所述第一齒輪嚙合；傳動(dòng)部件，所述傳動(dòng)部件具...該專(zhuān)利屬于北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司授權(quán)不得商用。