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    下載IIIA族氮化物晶體的制造方法的技術資料
    
                    
    
                      
    文檔序號：8485437
    
                    
    
                  
    

                  
                  
    
                      
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                      本發明提供一種IIIA族氮化物晶體的制造方法，其包括了晶體生長過程，通過由具有六方晶結構的氮化鎵晶體的籽晶生長具有六方晶結構的IIIA族氮化物晶體來形成IIIA族氮化物晶體，其中籽晶的c軸方向的長度“L”是9.7毫米或更長，長度“L”與c面...
    該專利屬于株式會社理光所有，僅供學習研究參考，未經過株式會社理光授權不得商用。
                      
                  
                  
                  
    詳細技術文檔下載地址
    


                      
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