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    下載力傳感器的技術資料

    文檔序號:8488350

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    力傳感器,具有:載體,其具有前側和背側;半導體本體,其具有表面和背面和構造在半導體本體的表面上的壓阻元件,其中半導體本體與載體力鎖合地連接;第一翼部,其構造在半導體本體的表面上并且具有上側和下側,其中翼部可基本上沿著半導體本體的表面的法向量...
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