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本發明公開了一種電可擦除只讀存儲器以及制作方法,用以提高電可擦除只讀存儲器的性能。該制作方法包括:在嵌入了源極和漏極的基板上覆蓋第一懸浮柵氧化層;通過構圖工藝在所述第一懸浮柵氧化層上形成懸浮柵極,其中,所述懸浮柵極的頂層覆蓋有保護層;在覆蓋...該專利屬于北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司授權不得商用。