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本實用新型公開了一種UV曝光機冷卻氣體處理裝置,包括過濾器、干燥器;所述干燥器的出口端連接有水分指示器。本實用新型可有效監控并及時判斷干燥器對氣體水分的處理效果,因而能夠有效控制輸入UV曝光機中的冷卻壓縮氣體的品質,從而有效保障UV曝光機的...該專利屬于長興(廣州)光電材料有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過長興(廣州)光電材料有限公司授權不得商用。
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本實用新型公開了一種UV曝光機冷卻氣體處理裝置,包括過濾器、干燥器;所述干燥器的出口端連接有水分指示器。本實用新型可有效監控并及時判斷干燥器對氣體水分的處理效果,因而能夠有效控制輸入UV曝光機中的冷卻壓縮氣體的品質,從而有效保障UV曝光機的...