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本實用新型涉及半導體集成電路器件清洗技術領域，公開了一種具有監(jiān)測半導體晶片狀態(tài)功能的夾持裝置，包括：可旋轉(zhuǎn)的卡盤、位于所述卡盤幾何中心的旋轉(zhuǎn)軸、固定于所述旋轉(zhuǎn)軸上的傳感器、以及分布在所述卡盤上的至少三個夾持元件。本實用新型通過凸輪和卡盤的相...該專利屬于北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司授權(quán)不得商用。