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本發明提供一種在向翹曲大的基板涂敷涂敷液的情況下也能夠高精度地涂敷涂敷液的涂敷裝置。通過基板搬運機構（14）將基板搬運至載物臺（12）上，并將基板吸附保持于該載物臺（12）的保持面（30）上。并且，在使狹縫噴嘴（41）的涂敷液噴出用狹縫與吸...
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