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本發明涉及一種CVD在線鍍功能膜廢氣干法凈化裝置，包括：氣源管道H，在氣源管道H的前端依次設有燃燒室（2）和超高溫靜電除塵器（4），在管道的末端設有活性炭纖維凈化器（8），其特征在于還包括：在管道上還設置了干式脫酸裝置（5）和布袋除塵器（7...該專利屬于蚌埠玻璃工業設計研究院;中國建材國際工程集團有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過蚌埠玻璃工業設計研究院;中國建材國際工程集團有限公司授權不得商用。