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    下載紅外熱檢測器及其制造方法的技術資料

    文檔序號:8561625

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    本發明提供了一種紅外熱檢測器及其制造方法。該紅外熱檢測器包括:基板;檢測器,與基板間隔開,經由局域表面等離子體共振吸收入射紅外光,并根據由所吸收的紅外光引起的溫度變化來改變電阻值;以及熱支路,將來自檢測器的信號傳輸到基板。...
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