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本發(fā)明涉及一種晶圓傳輸機(jī)械手測(cè)試裝置，其特征在于：它包括一支架、一測(cè)試手叉、一類晶圓震動(dòng)感應(yīng)器和控制系統(tǒng)；支架包括一立柱，立柱上橫向連接有一上連接桿和一下連接桿，上連接桿上設(shè)置一位移傳感器，下連接桿上設(shè)置一圖像傳感器，位移傳感器和圖像傳感器...該專利屬于北京自動(dòng)化技術(shù)研究院所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)北京自動(dòng)化技術(shù)研究院授權(quán)不得商用。