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描述了一種用于光線的可變偏轉(zhuǎn)的裝置(100),其包括微機(jī)械鏡排列(14),該微機(jī)械鏡排列(14)具有多個反光鏡致動器(18、20、22、24、26);以及控制單元(32),通過該控制單元可控制鏡致動器(18、20、22、24、26)至不同反...該專利屬于徠卡顯微系統(tǒng)復(fù)合顯微鏡有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過徠卡顯微系統(tǒng)復(fù)合顯微鏡有限公司授權(quán)不得商用。