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本實用新型公開了一種新型薄膜太陽電池激光刻蝕裝置，包括激光器、擴束鏡、聚焦鏡和光束整形裝置，所述擴束鏡安裝于激光器和聚焦鏡之間，所述光束整形裝置安裝于激光器和所述擴束鏡之間。本實用新型使用近似平頂的激光光斑對太陽電池的膜層進行刻劃，相比高斯...
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