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    下載基于薄膜材料的三維自支撐微納米功能結構的制備方法的技術資料

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    本發明是基于薄膜材料的三維自支撐微納米功能結構的制備方法,其包括步驟:在清洗過的光滑襯底上過渡層的制備;制備納米薄膜并從光滑襯底上剝離納米薄膜;制備具有孔洞結構的支撐襯底;將納米薄膜到孔洞結構支撐襯底上的轉移;在納米薄膜上制備微納圖形;離子...
    該專利屬于中國科學院物理研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國科學院物理研究所授權不得商用。

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