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本發明公開了一種鉬鈉合金旋轉濺射管形靶材的制備工藝，包括如下步驟：1）備料：所用粉末為鉬粉、鉬酸鈉粉末；粉末的物理性質為：鉬粉的Mo含量≥99.95%，粒度3~5μm；鉬酸鈉粉，鉬酸鈉含量≥99.0%，粒度20~40μmμm；2）配粉：將鉬...該專利屬于洛陽高新四豐電子材料有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過洛陽高新四豐電子材料有限公司授權不得商用。
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