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本發(fā)明公開了一種非接觸式流體元器件振動檢測裝置。包括六個結(jié)構(gòu)相同的流場上界面被測流體元器件位姿調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、支撐架、三個結(jié)構(gòu)相同的傳感測量裝置、流場上界面被測流體元器件及其夾持機(jī)構(gòu)、流場下界面結(jié)構(gòu)及其位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、隔振平臺、運(yùn)動平臺、氣液管路以...該專利屬于浙江大學(xué)所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過浙江大學(xué)授權(quán)不得商用。