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本發明公開了一種光刻機投影物鏡波像差在線測量裝置和方法，所述裝置包括光源、投影物鏡、探測器、工件臺和掩模板，掩模板包括多照明模式模板和測試標記，激光將該測試標記經由投影物鏡成像；探測器具有參考標記和在該參考標記下方的光電傳感器，測試標記進行...
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