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本發明提供一種控制化學液溫度的裝置及方法，該裝置主管路末端通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動閥，其中，在氣動閥與各相對應的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室。通過本發明提高了各個工藝腔室...該專利屬于北京七星華創電子股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京七星華創電子股份有限公司授權不得商用。
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本發明提供一種控制化學液溫度的裝置及方法，該裝置主管路末端通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動閥，其中，在氣動閥與各相對應的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室。通過本發明提高了各個工藝腔室...