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一種高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法，包括以下步驟：制作部分透光平板；在移相干涉儀輸出的平行光束方向依次設置所述的部分透光平板和待測高反射率凹面錐形反射鏡，所述的待測高反射率凹面錐形反射鏡的錐面朝向移相干涉儀的出光方向；調整光路；利用移...該專利屬于中國科學院上海光學精密機械研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院上海光學精密機械研究所授權不得商用。
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一種高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法，包括以下步驟：制作部分透光平板；在移相干涉儀輸出的平行光束方向依次設置所述的部分透光平板和待測高反射率凹面錐形反射鏡，所述的待測高反射率凹面錐形反射鏡的錐面朝向移相干涉儀的出光方向；調整光路；利用移...