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本發(fā)明提供了一種單片集成紅外焦平面探測器，包括：襯底；TFT信號讀出電路陣列以及TFT信號處理電路陣列，位于襯底之上；紅外探測像素單元陣列，位于TFT信號讀出電路陣列之上。相應(yīng)地，本發(fā)明還提供了單片集成紅外焦平面探測器的制造方法。本發(fā)明利用...該專利屬于中國科學(xué)院微電子研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國科學(xué)院微電子研究所授權(quán)不得商用。