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本發明公開了一種集成有微流控系統的光學微納生物傳感器的制作方法，包括：清洗基片，在基片頂層上通過光刻、顯影、刻蝕等步驟制作微納平面波導型光學器件；在器件表面旋涂厚SU-8膠，通過對準曝光、后烘、顯影等步驟得到SU-8膠微流通道；將PDMS薄...
該專利屬于中國科學院半導體研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院半導體研究所授權不得商用。

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