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本發(fā)明的課題在于與器件制造的變種變量生產(chǎn)彈性對(duì)應(yīng)。本發(fā)明是對(duì)0.5英寸的晶片進(jìn)行單晶片處理方式的器件制造方法及裝置，其配置多個(gè)密閉型的單位處理裝置(1)而形成制造生產(chǎn)線，該單位處理裝置(1)可搬且優(yōu)選具有規(guī)格化的外形，并對(duì)制造工藝中的一個(gè)處...該專利屬于獨(dú)立行政法人產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過獨(dú)立行政法人產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所授權(quán)不得商用。