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一些實施例包括當保持所沉積含銅材料的溫度大于100℃時利用所述含銅材料的物理氣相沉積來沉積所述含銅材料的方法。一些實施例包括如下方法：用含金屬組合物給開口加襯，當含銅材料的溫度不大于約0℃時在所述含金屬組合物上方物理氣相沉積所述含銅材料，且...
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