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本發(fā)明公開了一種柔性壁面熱線微傳感器的新型制作方法，屬于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）領(lǐng)域。本發(fā)明采用柔性金屬載體來實(shí)現(xiàn)加工過程中柔性襯底的固定，通過標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝實(shí)現(xiàn)柔性襯底正面器件和導(dǎo)線的圖形化，接著在正面沉積聚對(duì)二甲苯（Parylene）作為保...該專利屬于西北工業(yè)大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過西北工業(yè)大學(xué)授權(quán)不得商用。