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一種底柵結構的低壓ZnO透明薄膜晶體管的制備工藝，包括：清潔襯底步驟；制備柵極步驟；制備絕緣層步驟；ZnO:Al溝道層的沉積步驟；源、漏極的制備步驟。上述制備絕緣層步驟、ZnO:Al溝道層的沉積步驟以及源、漏極的制備步驟均在室溫下進行。...
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