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本發明提供了一種發光二極管的制造方法,包括;在藍寶石襯底的(0001)方向上生長AlN緩沖層;在AlN緩沖層上蒸鍍N型電極;在N型電極上蒸鍍量子阱反射層;在量子阱反射層上生長一層厚度30~40μm的金屬層;利用干法刻蝕技術將該金屬層制備成周...該專利屬于江蘇威納德照明科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過江蘇威納德照明科技有限公司授權不得商用。
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