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本發明涉及真空領域的真空泵,具體地說是一種磁力驅動螺桿真空泵,包括腔體、主動轉子、從動轉子、傳動齒輪組、內磁轉子、外磁轉子、隔離套及電機,其中主動轉子及從動轉子均容置在腔體內,主動轉子軸及從動轉子軸通過傳動齒輪組連接,主動轉子軸上設有內磁轉...該專利屬于中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司授權不得商用。
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