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本發明提供一種氮化物半導體晶片，在對氮化物半導體晶體進行背面磨削、外周磨削（倒角）、表面磨削及研磨來形成鏡面晶片時，翹曲小，不產生裂紋，基板制作工藝成品率高，設備面內成品率高。利用含有0～40重量%的氧化物砂粒的橡膠磨石或發泡樹脂結合劑磨石...
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