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本實(shí)用新型涉及一種蒸發(fā)源裝置，尤其涉及一種銅銦鎵硒薄膜電池生產(chǎn)工藝中的線性蒸發(fā)源裝置。該線性蒸發(fā)源裝置包括：材料腔室、噴嘴蓋和加熱源，所述噴嘴蓋位于所述材料腔室的上方并具有多個(gè)噴嘴，所述加熱源的數(shù)量為兩個(gè)或兩個(gè)以上，均勻分布在所述材料腔室的...該專(zhuān)利屬于漢能科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)漢能科技有限公司授權(quán)不得商用。