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    下載介電薄膜形成用組合物、介電薄膜的形成方法及介電薄膜的技術資料

    文檔序號:8902524

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    本發明提供一種未包含對環境的負載較大的物質且能夠用簡單的方法制作適合用于薄膜電容器的介電薄膜且保存穩定性優異、涂膜性良好的介電薄膜形成用組合物、介電薄膜的形成方法及通過該方法形成的介電薄膜。一種液狀介電薄膜形成用組合物,用于形成呈通式:Ca...
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