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真空密封元件背裝式鎖緊裝置快速拆裝方法,涉及大口徑真空密封元件拆裝方法,本發(fā)明為了解決目前真空隔離的光學(xué)元件需要維修或更換時(shí),需動(dòng)用大型機(jī)械設(shè)備整體拆卸,費(fèi)時(shí)費(fèi)力,效率低的問(wèn)題,本發(fā)明由真空隔離組件安裝方法和真空隔離組件拆卸方法組成,通過(guò)助...該專利屬于哈爾濱工業(yè)大學(xué)所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過(guò)哈爾濱工業(yè)大學(xué)授權(quán)不得商用。